情報機能素子科学研究室 博士課程1年星川 輝さん
あなたの研究テーマについて教えてください。What is your research theme?

研究テーマは「原子層堆積法による結晶性酸化物半導体の成膜と三次元構造型トランジスタの検討」です。
半導体素子の二次元平面における微細化は限界に達しており、三次元方向へのモノリシック集積や素子構造の三次元化が提案されています。三次元モノリシック集積を実現するには集積デバイスの後工程 (BEOL) 層に低温 (<450℃) でLSIやメモリ素子の基盤となる電界効果トランジスタ (FET) を作製する必要があります。
私の研究ではBEOL層に搭載するFETに、移動度の高く低温プロセスで作成可能な多結晶OSを実装させることを目標としています。これによって、高密度集積化や高性能化が可能となり、また、IoTデバイスやAIの頭脳ともいえるLSIの性能を大きく向上させることができます。三次元LSIの高速かつ大容量のデータ処理が実現することで、医療や自動車など実社会における様々な分野に対して自動化や効率的なシステムの構築を可能にすることができます。
なぜ博士課程へ進学しましたか?Why did you decide to pursue a doctoral program?

高専で研究活動を行ううちに物事を探求することが好きなことに気づき、博士課程まで進学したいと思うようになりました。その際、経済面での支援が充実していたことで、博士課程への進学が決意できました。
Graniteの支援で役立っている・助かっていることを教えてください。Please share what has been helpful or beneficial through the support provided by Granite.
経済的な支援が一番役立っております。
将来の目標、もしくはあなたが胸に秘めた野望があればぜひ教えてください。Please share your future goals or any ambitions you hold close to your heart.
国際的に活躍できる研究者になりたいです。
博士課程進学を考えている人へのメッセージをください。Please share a message for those considering pursuing a doctoral program.

一度でも博士課程に進学したいと思った人はその考えを誰かに相談し、自分の中で後悔しないような選択をしてほしいと思います。